ይህ መሳሪያ የማይገናኝ ፣ የጨረር ደረጃ-የሚቀያየር interferometric የመለኪያ ዘዴን ይቀበላል ፣ በመለኪያ ጊዜ የሥራውን ገጽታ አይጎዳውም ፣ የተለያዩ workpieces ላይ ላዩን ማይክሮ-ገጽታ ሶስት-ልኬት ግራፊክስ በፍጥነት መለካት እና መተንተን እና የመለኪያ ማስላት ይችላሉ. ውጤቶች.
የምርት መግለጫ
ባህሪያት: የተለያዩ የመለኪያ ብሎኮች እና የኦፕቲካል ክፍሎች ላይ ላዩን ሻካራነት ለመለካት ተስማሚ; የገዥው እና የመደወያው የሪቲክ ጥልቀት; የፍርግርግ ጎድጎድ መዋቅር ሽፋን ውፍረት እና ሽፋን ወሰን መዋቅር ሞርፎሎጂ; የመግነጢሳዊ (ኦፕቲካል) ዲስክ ወለል እና መግነጢሳዊ ራስ መዋቅር መለኪያ; የሲሊኮን ዋፈር ወለል ሸካራነት እና የስርዓተ-ጥለት መዋቅር መለኪያ, ወዘተ.
በመሳሪያው ከፍተኛ የመለኪያ ትክክለኛነት ምክንያት, ግንኙነት የሌላቸው እና ባለ ሶስት አቅጣጫዊ መለኪያዎች ባህሪያት አሉት, እና የኮምፒተር ቁጥጥርን እና ፈጣን ትንታኔን እና የመለኪያ ውጤቶችን ማስላት. ይህ መሳሪያ ለሁሉም የፈተና እና የመለኪያ ምርምር ክፍሎች ፣የኢንዱስትሪ እና ማዕድን ኢንተርፕራይዝ የመለኪያ ክፍሎች ፣የትክክለኛነት ማቀነባበሪያ አውደ ጥናቶች እና እንዲሁም ለከፍተኛ ትምህርት ተቋማት እና ለሳይንሳዊ ምርምር ተቋማት ወዘተ ተስማሚ ነው ።
ዋናዎቹ ቴክኒካዊ መለኪያዎች
በአጉሊ መነጽር ያልተመጣጠነ ጥልቀት የመለኪያ ክልል
ቀጣይነት ባለው ወለል ላይ፣ በሁለት ተያያዥ ፒክሰሎች መካከል ከ1/4 የሞገድ ርዝመት በላይ ከፍታ ድንገተኛ ለውጥ በማይኖርበት ጊዜ፡ 1000-1nm
በሁለት ተያያዥ ፒክሰሎች መካከል ከ1/4 በላይ የሞገድ ርዝመት ያለው የከፍታ ሚውቴሽን ሲኖር፡ 130-1nm
የመለኪያ ተደጋጋሚነት፡ δRa ≤0.5nm
የዓላማ ሌንስ ማጉላት፡ 40X
የቁጥር ቀዳዳ፡ Φ 65
የስራ ርቀት: 0.5mm
የመሳሪያ እይታ መስክ የእይታ: Φ0.25mm
ፎቶ፡ 0.13×0.13ሚሜ
የመሳሪያ ማጉላት ምስላዊ: 500×
ፎቶግራፍ (በኮምፒዩተር ስክሪን የታየ) -2500×
የተቀባይ መለኪያ ድርድር: 1000X1000
የፒክሰል መጠን፡ 5.2×5.2µm
የመለኪያ ጊዜ ናሙና (ስካን) ጊዜ፡ 1 ሰ
የመሳሪያ ደረጃውን የጠበቀ አንጸባራቂ (ከፍተኛ)፡- 50%
ነጸብራቅ (ዝቅተኛ)፡- 4%
የመብራት ምንጭ፡- የሚበራ መብራት 6V 5W
አረንጓዴ ጣልቃ ገብነት ማጣሪያ የሞገድ ርዝመት: λ≒530nm
ግማሽ ስፋት λ≒10nm
ዋና ማይክሮስኮፕ ማንሳት: 110 ሚሜ
የጠረጴዛ ማንሳት: 5 ሚሜ
በኤክስ እና ዋይ አቅጣጫ የእንቅስቃሴ መጠን፡- 10 ሚሜ
የስራ ሰንጠረዥ የማዞሪያ ክልል፡ 360°
የስራ ጠረጴዛ ያጋደለ ክልል፡ ± 6°
የኮምፒውተር ስርዓት፡- P4፣ 2.8G ወይም ከዚያ በላይ፣ ባለ 17 ኢንች ጠፍጣፋ ስክሪን ከ1ጂ ወይም ከዚያ በላይ ማህደረ ትውስታ ያለው